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常见问题

简述等离子体清洗在各方面的应用

发布时间:2020-09-12  点击次数:161 次
  等离子体清洗在各方面有什么样的应用?下面,低温等离子模块厂家来给大家分享一下。
  1、硬盘
  用等离子清洗来去除由上一步溅镀工艺留下的残余物,同时基材表面经过处理,对改变基材的润湿性,减小摩擦,很有益处。
  2、零件清洗
  在经过机械加工的零件表面主要残留物为油类污染,采用O2等离子体去除会有用。
  3、BGA封装工艺
  在BGA工艺中,对表面清洁和处理都是严格的,焊球与基板的连接要求一个洁净表面以保障焊接的一致性。等离子体处理它可以保障没有痕迹,BGA焊盘要求等离子处理来保障良好的粘接性能,并且,已有批量和在线式的清洗工艺。
  4、液晶显示器生产中的清洗
  在液晶清洗中的干式清洗,使用的气体是氧的等离子体,它能除去油性污垢和脏物粒子,因为氧等离子体可将有机物氧化,形成气体排出。
  5、蚀刻工艺
  某种程度来讲,等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应,反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。

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